雅科貝思廠家代理

無塵室外殼 XY 直線模組平臺

無塵室外殼DGL XY 直線模組平臺, 采用雅科貝思無塵室蓋板標準DGL模組組成。具有良好的剛性性能,以及良好的定位精度。適用于無塵室環境。

產品詳情

Akribis直線模組


直線電機特點

A. 無鐵芯直線電機直驅

B. 高精度以及精準回零

C. 無塵室蓋板


直線模組匹配


模組電機型號有效行程(mm)運動質量(Kg)總質量(Kg)傳感器限位(mm)硬限位(mm)

DGL200

上軸

AUM4-S23003.129304320
AUM4-S33003.429304320

下軸

AUM4-S330024.9103304320
AUM4-S430026.1103304320

注:花崗巖的質量大約240Kg.


直線模組


性能參數


規格參數單位DGCR 300DGCRS 300
1直線度μm±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
平面度±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
重復精度(1μm分辨率)±3μm(40μm光柵柵距±3μm(40μm光柵柵距)
重復精度(1μm分辨率)±1.5μm(20μm光柵柵距±1.5μm(20μm光柵柵距)
重復精度(0.1μm分辨率)±1μm(20μm光柵柵距)±1μm(20μm光柵柵距)
重復精度(模擬量)±5 counts±5 counts
X-Y正交性Arc-sec1010


注:所有的測量數據基于直線模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。


Akribis直線模組




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