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風琴罩外殼DGL XY 直線模組

風琴罩外殼DGL XY 直線模組平臺, 采用雅科貝思風琴罩蓋板標準模組DGL組成。

產品詳情

直線模組:特點

A. 無鐵芯直線電機直驅

B. 高精度以及精準回零

C. 風琴罩外殼

 

風琴罩外殼DGL XY 平臺, 采用雅科貝思風琴罩蓋板標準DGL模組組成。具有良好的剛性性能,以及良好的定位精度。適用于重油污環境。


風琴罩直線模組

模組配置

模組電機型號有效行程(mm)運動質量(Kg)總質量(Kg)傳感器限位(mm)硬限位(mm)
DGL200上軸AUM4-S23003.129304320
AUM4-S33003.429304320
下軸AUM4-S330024.9103304320
AUM4-S430026.1103304320

注:花崗巖的質量大約260Kg.

 風琴罩外殼DGL XY 直線模組

性能參數

規格參數單位DGCR 300DGCRS 300
1直線度μm±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
1平面度±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
重復精度(1μm分辨率)±3μm(40μm光柵柵距)±3μm(40μm光柵柵距)
重復精度(0.5μm分辨率)±1.5μm(20μm光柵柵距)±1.5μm(20μm光柵柵距)
重復精度(0.1μm分辨率±1μm(20μm光柵柵距)±1μm(20μm光柵柵距)
復精度(模擬量)±5 counts±5 counts
X-Y正交性Arc-sec1010


注:所有的測量數據基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。



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