直線電機在液晶基板薄膜紋路檢驗、修復裝置用

作者:Mosen摩森 日期:19/02/20 10:44 瀏覽:90

檢驗液晶基板內幾十um厚度的薄膜紋路,根據需要用激光照射來清除微小紋路的修復系統??杉庸ご笮鸵壕Щ?,設備整體為龍門式結構。另外,在加工頭上裝有高倍攝像頭,用于確認加工情況。


直線電機的應用

  • 直線電機以及間距誤差修正帶來的高剛性龍門驅動

  • 增益調整功能同時確保加工時(低速)的XY直線插補的軌跡準確,以及快進(高速)時的穩定性。

  • 加工時的魯棒干擾控制功能可抑制電纜干擾引起的速度波動


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