高精度XY軸直線模組

作者:Mosen摩森 日期:19/02/20 10:36 瀏覽:164

Akribis直線模組設計特點:

A. 直線電機直驅

B. 高精度以及精準回零

C. 3種蓋板可供選擇(包括無塵室蓋板)

D. 行程從100 mm 至1200mm

E. 模塊化設計


 DGL系列(雙導軌直線模組)采用Akribis直線電機系統,具有高剛性以及高穩定性的特點。作為Akribis標準模組為客戶提供方便快捷的模組制定方案。


直線電機直驅

采用Akribis直線電機對模組進行直接驅動。兩種型號電機可供選擇: AUM系列(無鐵芯電機)ACM系列(有鐵芯電機)。AUM系列為客戶提供低速更加穩定的模組系統。ACM系列在相同尺寸下為客戶提供更大的直驅推力。

 

高精度以及精準回零

DGL系列標準模組采用高精度的光柵編碼器系統,為客戶提供高精度的定位平臺。

 

模塊化設計

DGL系列采用標準化的模塊設計,可以根據客戶需求進行模塊化組合。

1562567574549239.

直線模組XY直線模組XYZ直線模組XYZ直線模組XY直線模組


性能參數單位參考值
加速度G10
速度(分辨率為1μm)




m/s

5(40μm光柵距和20MHz計數頻率)
速度(分辨率為0.5μm)2.5(20μm光柵距和20MHz計數頻率)
速度(分辨率為0.1μm)1.3(20μm光柵距和20MHz計數頻率)
速度(模擬量編碼器)8(40μm光柵距和200KHz輸入頻率)
4(20μm光柵距和200KHz輸入頻率)
*直線度





μm

±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
*平面度±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
重復精度(分辨率為1μm)±3μm(40μm光柵柵距)
重復精度(分辨率為0.5μm)±1.5μm(20μm光柵柵距)
重復精度(分辨率為0.1μm)±1μm(20μm光柵柵距)
重復精度(模擬量編碼器)±5counts


*所有的測量數值基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。



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